Ultrareines Ein-Zoll-Leichtgasventil für Halbleiterfabriken und Analyselabore mit elektropolierten Oberflächen und Partikelüberwachung

Diese Partikelkontrolle ist für kontaminierungsempfindliche Umgebungen speziell konzipiert.ein Zoll leichteres GasventilDie Anlage ist aus Edelstahl aus 316L-VAR mit einer elektropolierten Oberfläche von < 0,5 Ra μm.mit einer Leistung von mehr als 10 Werreicht die Partikelstandards der Klasse 1/ISO 2 für Halbleiterprozessgase.000+ Aktivierungen. als eine wesentlicheLaborgasventil, enthält es VCR-artige Gesichtsdichtungen für eine Helium-Leckdichte bis 1x10−9 atm-cc/sec He, wobei die Reinheit für spezielle Gase wie Arsin und Silan auf ppb-Niveau beibehalten wird.Die PTFE-Stammdichtungen und die Null-Todbein-Konfiguration entsprechen den SEMI-Normen F72. beinhaltet integrierte Partikelüberwachungsanlagen für die Überprüfung der Konformität mit ISO 14644-1 Klasse 3 während der Installation vor Ort.

Die Punkte:
✓Reinheit auf Nanoskala: < 5 Partikel > 0,1 μm pro Liter (pro IEST RP CC001.6)
✓Bubble-Tight-Siegelung: 1x10−9 atm-cc/sec Helium-Leckrate
✓Korrosionsbeständigkeit: Passiva nach ASTM-A967-Stickstoffsäuremethode
✓Vibrationsfreier Betrieb: Entwurf eines antiresonanzfähigen Stammes
✓Fab-Bewiesen: SEMI F72-konformLaborgasventil

Anwendungsszenario:
In einem Halbleiterreinigungsraum installieren Techniker Ventile mit Partikelzählern, um bei der Inbetriebnahme der Gasleitung für die 5nm-Chifferierung eine Nullkontamination zu überprüfen.

Häufige Fragen:

F: Welche Partikelzertifizierung kommt mit diesem hochreinen Gasventil?
A: IEST-CC0016 Klasse 1 berichtet mit Partikelverteilungsdaten von 0,1-5,0 μm.

F: Sind IhreGasventile für LaborKompatibel mit giftigen Dopantien?
A: Ja, konstruiert für Gase der Kategorie 1 SEMI S2 mit voller Materialkompatibilität.

F: Kann ich die Partikelüberwachung ohne Prozessunterbrechung integrieren?
A: Ja, Probenhäfen ermöglichen eine ISO 14644-1-konforme Überprüfung vor Ort.

F: Wie ist die Abgasleistung?
A: < 1x10−9 g/cm2/sec TML/CVCM pro NASA-STD-6001B.

F: Liefern Sie Kontaminationskontrollprotokolle für Anlagen?
A: Detaillierte ISO 14644-5-konforme Installationskits sind verfügbar.